介绍了在真空炉设备中真空获得系统的组成,以及液环-罗茨机组的适用环境,并针对该机组的运行原理提出合理的运行程序,以使该系统设备得以安全可靠运行,并使该真空机组稳定运转,且最大程度延长机组的使用寿命。

　随着现代热处理技术的发展,真空热处理炉以其真空环境的高纯及还原性气氛而得到了广泛的应用。真空热处理炉一般由加热炉和真空获得系统等组成,其中真空获得系统通常由真空管路、控制阀门、真空测量元件和真空泵/泵组组成,而根据使用要求,真空机组又会有不同的配置。在真空泵机组的配置中,首先要考虑的是真空度要求。根据不同的真空度要求,机组可以选用分子泵、扩散泵、罗茨泵、滑阀泵、旋片泵、液环泵;以及根据炉体容腔的大小,可以选用这些泵的不同规格以及组合。其次,要根据具体的使用环境,选用不同特性的真空泵和机组组合。例如,在要求无油蒸汽污染的真空气氛时,可以考虑选用干泵、分子泵等。液环泵就是应此类特殊要求而产生的。液环式真空泵(简称液环泵)的工作原理是将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常是水或变压器油)抛向泵壳并形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的旋转变容真空泵。液环泵及其机组以其独特原理可以抽除空气及其他无腐蚀性、不溶于水、不含固体颗粒的气体;亦可抽除可燃、易爆、含水气、灰尘的气体。